Понимаете ли вы цель поглощения - Знания

Понимаете ли вы цель усыпления

Основные эксплуатационные требования для материала Supttering Target:

чистота
Чистота является одним из основных показателей эффективности материала Supttering Target, поскольку чистота материала мишени оказывает большое влияние на характеристики пленки. Однако при практическом применении требования к чистоте материалов мишени различны.
Содержание примесей
Примеси в целевых твердых веществах и кислороде и воде в устьицах являются основными источниками загрязнения осажденных тонких пленок. Мишени для разных целей имеют разные требования к разному содержанию примесей. Например, мишени из чистого алюминия и алюминиевого сплава, используемые в полупроводниковой промышленности, предъявляют особые требования к содержанию щелочных металлов и радиоактивных элементов.
плотность
Для того чтобы уменьшить пористость в твердом теле мишени и улучшить характеристики распыляемой пленки, обычно требуется, чтобы мишень имела высокую плотность. Плотность мишени не только влияет на скорость распыления, но также влияет на электрические и оптические свойства пленок. Чем выше плотность мишени, тем лучше свойства пленок. Кроме того, увеличение плотности и прочности мишени может помочь ей лучше противостоять термическому напряжению в процессе распыления. Плотность также является одним из ключевых показателей эффективности целевых материалов.
Размер зерна и гранулометрический состав
Обычно целевой материал является поликристаллическим, а размер зерна может варьироваться от микрона до миллиметра. Для той же цели скорость распыления мишени с мелким зерном выше, чем у мишени с крупным зерном, и распределение по толщине пленки, нанесенной мишенью с небольшой разницей в размере зерна (равномерное распределение), является более равномерным.

Наша компания имеет многолетний опыт производства и продажи молибденовой мишени, титановой мишени, мишени из тантала и ниобия, и была высоко оценена европейскими и американскими клиентами.

упаковка

packing.