Сианьская экономическая промышленная корпорация

Понимаете ли вы цель усыпления

Jun 27, 2019

Понимаете ли вы цель усыпления

Основные эксплуатационные требования для материала Supttering Target:

  1. чистота

    Чистота является одним из основных показателей эффективности материала Supttering Target, поскольку чистота материала мишени оказывает большое влияние на характеристики пленки. Однако при практическом применении требования к чистоте материалов мишени различны.

  2. Содержание примесей

    Примеси в целевых твердых веществах и кислороде и воде в устьицах являются основными источниками загрязнения осажденных тонких пленок. Мишени для разных целей имеют разные требования к разному содержанию примесей. Например, мишени из чистого алюминия и алюминиевого сплава, используемые в полупроводниковой промышленности, предъявляют особые требования к содержанию щелочных металлов и радиоактивных элементов.

  3. плотность

    Для того чтобы уменьшить пористость в твердом теле мишени и улучшить характеристики распыляемой пленки, обычно требуется, чтобы мишень имела высокую плотность. Плотность мишени не только влияет на скорость распыления, но также влияет на электрические и оптические свойства пленок. Чем выше плотность мишени, тем лучше свойства пленок. Кроме того, увеличение плотности и прочности мишени может помочь ей лучше противостоять термическому напряжению в процессе распыления. Плотность также является одним из ключевых показателей эффективности целевых материалов.

  4. Размер зерна и гранулометрический состав

    Обычно целевой материал является поликристаллическим, а размер зерна может варьироваться от микрона до миллиметра. Для той же цели скорость распыления мишени с мелким зерном выше, чем у мишени с крупным зерном, и распределение по толщине пленки, нанесенной мишенью с небольшой разницей в размере зерна (равномерное распределение), является более равномерным.



Наша компания имеет многолетний опыт производства и продажи молибденовой мишени, титановой мишени, мишени из тантала и ниобия, и была высоко оценена европейскими и американскими клиентами.

упаковка

packing.


Контакты:

E-mail: mail@refrachina.com

Адрес: Suite A2202-03, международная строительная выставка Цюцзян, Yanzhan Road, Сиань,

710061, Китай

Телефон: 86-29-85325399

Факс: 029-85325610


goTop